硅單晶電阻率標準標準物質 京儀儀器
GBW13701—GBW13708是參照原美國NBS(現為NIST)的標準,以硅為原材料,通過特殊工藝研制而成的標稱值不同的一套硅單晶電阻率標準片。
本標準物質一般用于檢定和校準制造和使用中的電阻率(方阻)測試儀。GBW13709—GBW13710則是用于校準擴展電阻測量系統的標準片。
電阻率樣片規格一般為直徑2英寸(51mm)— 4英寸(100mm),厚度500mm—650mm的圓片(Wafer),包裝為帶標簽的標準幣式單片晶圓包裝盒。
擴展電阻樣片規格一般為3mm×5mm矩形薄片,包裝為帶標簽的獨立自封袋。
