等離子體分解法（plasmaa decomposition）用于治理有機廢氣現技術已基本趨于成熟，在國內已經大量用于有機廢氣治理工程中。 低溫等離子體技術去除VOCs，其基本原理是通過高電壓放電形式獲得非熱電平衡等離子體，即產生大量的高能電子或高能電子激勵產生的O·、OH·、N·等活性粒子，破壞C-H、C=C或C—C等化學鍵，使VOCs分子中的H、C1、F等發生置換反應。由于O·、OH·等具有強氧化能力，結果使C、H分解氧化，最終生成CO2和H2O，即VOCs通過放電處理最終變為無害物質。
目前，產生低溫等離子體的放電形式主要的脈沖電暈放電、界面放電及介質阻擋放電等，在時間和空間上，為了能簡單地得到高密度的等離子體，有時將某兩和放電形式疊加（如介質阻擋放電與界面放電的放電疊加）
20世紀80年代初期日本、美國的學者提出了脈沖電暈產生常壓非平衡等離子體的方法。該方法是利用高能電子的作用激發氣體分子，使其電離或離解，并產生強氧化性的自由基。
脈沖電暈放電采用窄脈寬高壓電源供能，脈沖電壓的上升沿極陡（上升時間為幾十至幾百納秒），峰寬較窄（幾微秒內），在極短時間的脈沖時間內，電子被加速而成為高能電子，而其他質量較大的離子由于慣性作用在脈沖瞬間來不及被加速而基本保持靜止。因此放電所提供的能量主要用于產生高能電子，能量效率較高。 與直流電暈放電法相比，此法還具有以下優點：
1、可以在較高的脈沖電壓下操作，不像直流電暈放電那樣，容易過渡到火花放電，因而可提供比直流電暈放電高幾個數量級的活性離子濃度；
2、在高電壓作用下，電暈區較大而且放電空間電子密度較高，同時空間電荷效應也使電子在反應器內分布趨于均勻，所以其活性空間也比直流電暈放電大得多；
3、電子密度大，分布廣，反應器可以設計為較大空間，允許較寬的反應器制造誤差。
由于脈沖電暈放電具有這些優點，所以它在氣污染物凈化方面具有更強的應用前景。
