金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - HS-MPRT-5

本儀器用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器.本儀器按照半導體材料電阻率的及國家標準測試方法有關規定設計。 它主要由電器測量部份（主機）及四探頭組成，需要時可加配測試架。 為減小體積，本儀器用同一塊數字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產品檢測。對1～100Ω·cm標準樣片的測量偏差不超過±3%，在此范圍內達到國家標準一級機的水平。

金屬四探頭電阻率方阻測試儀- 產品特點
■ 采用金屬探頭，游移率小，穩定性高。
■ 儀器采用220V交流電源供電
■ 適用于西門子法、硅烷法等工藝生產原生多晶硅料的企業”
■ 適用于物理提純生產多晶硅料生產企業
■ 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
■ 具有抗強磁場和抗高頻設備的性能

金屬四探頭電阻率方阻測試儀- 技術指標
■ 電阻率：0.01～199.9Ω·cm
■ 方塊電阻：0.1～1999Ω/口
■ 直流數字電壓表 測量范圍：0～199.9mv

              靈敏度：100μv

準確度：0.2%（±2個字）
■ 電源： AC 220V ± 10% ， 50HZ
■ 功耗：zui大功耗 ≤10W ，平均功耗≈ 8W

金屬四探頭電阻率方阻測試儀- 典型客戶
 江蘇、浙江、廣東、湖南湖北、內蒙古、河南等地的CZ直拉單晶及鑄錠客戶。

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