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高真空隔膜閥是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上用來截止或接通真空系統(tǒng)。閥門適用的工作介質(zhì)為空氣及非腐蝕
性氣性,高真空隔膜閥適用范圍:10 5 ~1.3x10 -4 Pa 高真空隔膜閥漏氣率:6.7x10 -4 Pa.L/S 高真空隔膜閥介
質(zhì)溫度:高真空隔膜閥隔膜為橡膠時-25℃~+80℃ 隔膜為氟橡膠時-30℃~+150℃