臭氧可以用于除臭，殺菌，脫色，除錳、酚、鐵、氰，除COD、BOD等，但是不容易氧化乙醇。臭氧的氧化電位為2.07V,在常溫常壓常態下可以分解為氧氣。相比之下，氯，超氧化氫（HO2·）和二氧化氯（ClO2）的氧化電位僅有1.36V，1.28V和1.5V，臭氧可以氧化氯離子。

氧化能力強，對脫色、除臭、殺菌、去除有機物和無機物等效果，無二次污染，制備臭氧只用空氣和電能，操作管理方便;臭氧發生器能氧化其它化學氧化，生物氧化不易處理的污染物，對除臭、脫色、殺菌、降解有機物和無機物都有顯著效果;污水經處理后污水中剩余的臭氧易分解，不產生二次污染，且能增加水中的溶解氧; 制備臭氧利用空氣或者氧氣作原料，成本低廉，操作簡便。處理過程一般不會產生污泥;處理后廢水中的臭氧易分解，不會產生二次污染。對殺菌、脫色、除臭、去除有機物和無機物都有顯著的效果。臭氧在廢水處理中的應用發展很快，近年來，隨著一般公共用水污染日益嚴重，要求進行深度處理，國際上再次出現了以臭氧作為氧化劑的趨勢。臭氧氧化法在水處理中主要是使污染物氧化分解，用于降低BOD.COD，脫色，除臭、除味、殺菌、殺藻、除鐵、錳、氰、酚等。

空氣殺菌消毒：食品廠、學校、醫院、車間、潔凈區、更衣室、健身房、圖書館、養殖場等；水處理：生活飲用水、自來水、純凈水、地表水、二次供水、中水回用、食品廠生產用水、飲料廠、自來水廠;生活污水、醫院污水、工業廢水、含酚廢水、紡織印染污水、屠宰廢水、養殖污水、食品廠污水、制藥廢水、造紙廢水等；廢氣處理：工業廢水、垃圾場廢氣、惡臭氣體、橡膠廢氣、噴涂廢氣等；煙氣脫硫脫硝：工業工廠、磚廠、電熱廠、火電廠等煙氣脫硫脫硝