在現有生化廢水系統出水的水質基礎上將 COD指標降低至80mg/L以下（目前運行狀態下COD指標150mg/L以下，生化廢水系統出水水量小于250m3/h，從源頭上降低污染物排放總量，減輕后續工藝負荷。深度氧化段要求采用臭氧催化氧化工藝或電化學工藝，不允許產生廢液、固廢及危廢。臭氧催化氧化塔又稱為臭氧反應罐、臭氧氧化塔、臭氧曝氣塔。塔內部設置有布水板、曝氣盤和填料，上部側面設置有進水口，下部側面設置有臭氧進口，底部或側面設置有排水口。提高臭氧的利用率，可以循環利用尾氣，裝置緊湊及占地面積較小。

臭氧催化氧化塔是臭氧通過管道進入氧化塔底部，經過曝氣盤、布水板，經微孔鼓泡器散發另微氣泡，氣泡在上升的過程中把臭氧充分溶解于水。水是由臭氧塔的頂部散落下來，在從臭氧塔的頂部自然流走。保證了臭氧與水混合的充分時間。使處理效果更*，頂部又配有尾氣排放和溢流口，保證多余的臭氧不會滯留在室內。溢流口保證混合塔內部水滿后，水不會倒流回到臭氧發生器，損壞臭氧發生器。

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