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GS1200-PECVD

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱河北雅格隆科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2022/7/11 19:38:14
  • 訪問次數204
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公 司 簡 介

河北雅格隆科技有限公司于2011年在中國北京創建,公司產品涵蓋箱式高溫爐(真空管式爐)滑軌管式爐(旋轉管式爐)立式管式爐和氫氣鉬絲爐等。

河北雅格隆科技有限公司目前的業務范圍已涵蓋儀器儀表閥門、家用電器、五金產品、機械設備、電子產品等多個領域。 

經過公司十多年的發展,目前公司已研發產品類,20多個系列,產品包括升降爐、氣氛爐、真空爐、管式爐、箱式爐、井式爐、牙科設備-義齒燒結爐、、藍寶石晶體退火爐、還有針對不同行業專門研發的3D打印金屬工件熱處理爐、鈹銅真空時效退火爐、硬質合金真空焊接爐、植入體熱處理爐、電空元器件熱處理爐、氫氣爐等,主要適用于科研單位、大專院校、新材料、新能源、物理、化學、冶金、玻璃、鋰能等領域,并獲得了廣大用戶的青睞與好評。

愿河北雅格隆科技有限公司成為您高溫技術系統的親密伙伴! 

河北雅格隆科技有限公司,主要經營、生產、開發、設計各種高溫設備;本公司本著“求實、誠信、互惠、雙贏”的經營理念,堅持“客戶*、品質為先”的宗旨服務于客戶。 

  公司在擁有人才、資源、規模、經驗、網絡的巨大優勢和影響力下,成為具有高度競爭力的科技企業。憑借扎根科技、前瞻決策、品牌代理、專業制造、完善售后的專業理念,公司從2011年肇基,迅速發展壯大,已在石家莊、杭州設立生產基地、售后服務中心和超高溫實驗室,在北京、上海、杭州、廣州、南京等地設立辦事處。

高溫實驗電爐,馬弗爐,硬度計,測厚儀,探傷儀,粗糙度儀等檢測儀器
GS1200-PECVD等離子化學氣象沉積設備介紹:本設備是借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
GS1200-PECVD 產品信息

GS1200-PECVD等離子化學氣象沉積

設備介紹: 本設備是借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)

主要特點:

    1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

    2PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

    3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

    4PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

    5、廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

開啟式管式爐技術參數

石英管尺寸

Φ100*L1200mm

加熱元件

電阻絲

測溫元件

N型熱電偶

加熱區/恒溫區

440mm/200mm

工作溫度

≤1100℃

控溫模式

PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

電功率

AC220V/50HZ/3KW

質量供氣系統

標準量程

50-500ml/min

壓力表測量范圍

-0.1Mpa~0.15Mpa

極限壓力

3MPa

針閥

316不銹鋼

電功率

AC220V/50HZ/20W

響應時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

重復精度

±0.2%

真空系統參數

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

400W

極限真空

4X10-1Pa

/排氣口口徑

KF25

射頻電源

信號頻率

13.56   MHz±0.005%

功率輸出范圍

5W-500W

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機效率

≥70%

 


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