等離子設備采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成，利用等離子分解技術和UV紫外光解技術結合，對廢氣和臭氣進行協同凈化處理：有機廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波 率地照射，瞬間產生光解反應；經過等離子體電場時，在納秒級時間范圍內，產生裂變分解反應；如此協同地產生一系光解和分解反應，經過多級凈化后從而達標排放。
等離子設備日常維護及保養：
1、配有水塔的廢氣治理系統，應少一個星期換一次水，換水時應先將塔內存水通過排水口排放干凈，加入1/3正常水量的循環水后，開啟循環水泵運行十分鐘后，再次排放干凈，重新加水至正常水位。（根據所治理的廢氣不同，有的水塔需要加片堿的，應適當加入片堿）
2、每個月應將等離子設備級電極組件抽出來全面清洗一次，視污垢附著程度，如果不太臟時可用高壓水槍加家用洗潔精噴洗或者用熱水加入家用洗潔精泡洗。如果積垢比較嚴重，則可用重度1:25的燒堿與熱水混合溶液泡洗較快較 。
清洗結束后應將電極架晾干進行中心校正后可裝機使用。校正方法：將電極架如正常使用時放置，從電極架進氣方向目測，每個電極單元的中心發射管是否在接受管（外筒）中心，若目測偏移，可用直徑10mm鋼棒插入發射極進行調整，調整時切記不可用力過大過猛，應逐漸加大調整力度。
3、每三個月至半年（長年限是半年）視情況將等離子設備所有電極抽出全面清洗一次，清洗方法參照第2條。
4、設備不運行時，應將系統進氣口蝶閥關閉，需要運行設備時再將之打開。系統配置有可燃性氣體檢測探頭的，在設備整體運行時間累計達到500h時，應將系統進口處的可燃性氣體檢測探頭下拆下，擰下探頭底部保護帽，將保護帽內的濾芯用干燥壓縮空氣反向吹拭干凈后，將之與探頭組裝好再安裝回原來位置。
