等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子廢氣凈化器去除污染物機理：

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場+電子→電子

(2) 電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團

(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。