等離子是物質存在的除固態，液態，氣態之外的第四種狀態，具有宏觀度的電中性與高導電性。等離子體中含有大量活性電子，離子，激發態粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撞的結果，產生大量的強氧化性自由基0，物分子被這些強氧化性的物質所氧化，終降解為CO2和H2O。等離子體的發生技術主要有：直流電暈放電法、脈沖電暈放電法、介質阻擋放電、表面放電，目前常見的放電反應器電暈放電和介質阻擋放電的氣體壓強為105Pa，電場強度分別為5×104和102-105，等離子體的產生采用的都是高壓電場放電，對于一些易燃易爆廢氣的處理存在危險性。
低溫等離子技術是通過導電介質(氯化鈉溶液或細胞液中的電解質)在電極（雙極或多極形成電壓差）周圍形成一個高度聚集的等離子體區。等離子體區是由高度離子化了的粒子組成，這些離子化了的粒子具有足夠的能量粉碎組織內的分子分子鏈，從而使分子和分子分離，組織體積縮小。不直接破壞組織，對周圍組織損傷。由于電流不直接流經組織，組織發熱少， 溫度低。所以具備表面組織溫度40-70℃、間接組織損害較小、叫少的熱滲透、通過分子間的分離，使組織定點消融等優點。
低溫等離子廢氣凈化器能去除揮發性物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有殺滅空氣中、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯作用。
低溫等離子體”是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是依靠等離子體在瞬間產生的電場能量電離、裂解氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。
低溫等離子體廢氣處理不需任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。
1.工藝簡潔，操作簡單，方便。
2.處體：氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯等主要污染物，以及惡臭氣體。
3.自動化程度高。
4.凈化、無二次污染。
