部分廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為 無味氣體。采用 C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可地殺滅，將物質破壞且改變成為低分子物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，催化氧化作用。在分解過程中產生 高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的 效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應， 達到脫臭的目的。
當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子 先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子 物質，或使物質轉變成 或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。)
等離子光氧一體機是一種專門去除氣體及惡臭氣體的一種裝置。是等離子分解廢氣凈化器+UV光解除臭廢氣凈化器兩種設備的 結合，綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成，利用等離子分解技術和UV紫外光解技術相結合，對廢氣和臭氣進行 協同凈化處理！
它具有運行成本低、設備占地面積小，自重輕、無任何機械動作，無噪音等特點，等離子光解一體機凈化設備凈化效率在95%以上。是目前市場上的廢氣凈化設備。
