化工行業中的超純水設備主要應用于電池行溶劑用水、化學分析、化工材料、產品清洗、物質的分離、濃縮、提純，廢物回收等場合，純水電導率從0.1uS/cm-20uS/cm。化工行業用超純水設備一般采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水，的超純水制備工藝。不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，化工行業用超純水設備對環境無破壞性。

設備優點：

◆出水水質具有的穩定度。

◆能連續生產出符合用戶要求的超純水。

◆模塊化生產，并可實現PLC全自動控制。

◆不需酸堿再生，無污水排放。

◆不會因再生而停機。

工藝：

◆采用離子交換方式：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

◆采用二級反滲透方式：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調節→中間水箱→二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

◆采用EDI方式：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點