臭氧是氧的同素異形體，是一種淡藍色不穩定的氣體，有三個氧原子組成，分子式為O3，常溫下自行分解為初生態的氧，是一種強氧化劑，其氧化能力僅次于氟。具有低濃度下可瞬時完成氧化作用；微量時有一種清新氣味，高濃度時具有強烈的漂白粉味，臭氧與有機物、無機物均能產生氧化。
臭氧化氣體用于水處理、脫色、除臭、殺菌、滅藻與病毒滅活；除錳、除硫化物、除酚、除氯、除農藥異味、石油制品及合成洗滌后消毒；作為氧化劑，用于某些香料合成、提煉藥物、潤滑脂合成、合成纖維的制造；作為催化劑用于油墨涂料速干、助燃及釀酒發酵方面、各類纖維紙漿漂白、全盛洗滌劑的脫色、毛皮加工件的除臭殺菌等；在醫院廢水處理中起到消毒、除臭等作用。
在廢水處理方面，可除酚、硫、氰油、磷、芳香烴和鐵、錳等金屬離子。使生化物快速分解，因此臭氧受到國內外工業及環保部門的日漸重視。
二、臭氧發生裝置
臭氧發生器是用于制取臭氧的設備裝置。臭氧易于分解無法儲存需現場制取現場使用（但是在特殊的情況下是可以進行短暫時間的儲存），凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在自來水，污水，工業氧化，空間滅菌等領域廣泛應用。
臭氧是的廣譜高效殺菌消毒劑。采用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧。臭氧比氧分子多了一活潑的氧原子臭氧，化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣中的細菌。沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為“最清潔的氧化劑和消毒劑”。
通電
其反應的化學方程式為3O2====2O3
高壓放電式臭氧發生器類型
v 按發生器的高壓電頻率劃分，有工頻(50-60Hz)、中頻(400-1000Hz)和高頻(＞1000Hz)三種。工頻發生器由于體積大、功耗高等缺點，目前已基本退出市場。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產量大等優點，是現在常用產品。
v 按使用的氣體原料劃分，有氧氣型和空氣型兩種。氧氣型通常是由氧氣瓶或制氧機供應氧氣。空氣型通常是使用潔凈干燥的壓縮空氣作為原料。由于臭氧是靠氧氣來產生的，而空氣中氧氣的含量只有21%，所以空氣型發生器產生的臭氧濃度相對較低，而瓶裝或制氧機的氧氣純度都在90%以上，所以氧氣型發生器的臭氧濃度較高。
v 按冷卻方式劃分，有水冷型和風冷型。臭氧發生器工作時會產生大量的熱能，需要冷卻，否則臭氧會因高溫而邊產生邊分解。水冷型發生器冷卻效果好，工作穩定，臭氧無衰減，并能長時間連續工作，但結構復雜，成本稍高。風冷型冷卻效果不夠理想，臭氧衰減明顯。總體性能穩定的高性能臭氧發生器通常都是水冷式的。風冷一般只用于臭氧產量較小的中低檔臭氧發生器。在選用發生器時，應盡量選用水冷型的。
v 按介電材料劃分，常見的有石英管、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。目前使用各類介電材料制造的臭氧發生器市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。
v 按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠高于開放式。
