10000風量光氧活性炭一體機采用微波場激發紫外線燈，產生高強紫外線，其中154nm-185nm波長在系列光譜中使占比例高達14%，紫外線劑量大于65mw/cm2，光子能量大于880kJ/mol，是當前工業UV/O3紫外燈中劑量和能量紫外線，能裂解硫化氫(H-S鍵能為368kJ/mol)，氨氣(H-N鍵能為393kJ/mol)等鍵能小于880kJ/mol的分子鍵；光解時間大于1s，紫外線同樣能裂解自然界中相對比較穩定的氮氮叁鍵(鍵能941.69kJ/mol )。紫外線光解氧氣產生臭氧(活氧O3)，臭氧能氧化金屬性較強的污染物，臭氧量可根據污染物的濃度以及后續反應時間設定。

等離子分解區：采用了的吸附-分解-碳化工藝技術設計，無需處理原料，無需專人負責，不產生二次污染。采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生、、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對經過UV光解區進入等離子分解區的氣體內殘留的分子進行氧化還原反應，將廢氣中的污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使廢氣經多級凈化后終達標排放。

設備設有活性碳纖維過濾，紫外線燈光解和臭氧氧化混合裝置組成，自控系統可以裝配紫外線強度傳感器，臭氧濃度傳感器，溫度傳感器，污染物濃度傳感器，流量計，采用觸摸屏+PLC控制，可作為污染物處理的配套設備。