水中臭氧分析儀-支持150SLPM流量-Model470
概述
Model470是溶解臭氧測量分析儀，為半導體濕法處理和許多其他工業過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L的溶解臭氧測量。470已完成“預備清潔”，能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環流回路中，支持150 SLPM的流量。
470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到了高的性能，且擺脫了對參比液體測量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數字信號向濕法處理過程控制臺遠程報告測量的濃度。
技術指標
| 產品型號 | Model470 | 生產廠商 | 美國進口 |
|---|---|---|---|
| 測量原理 | 紫外吸收法，雙路取樣傳感技術 | 紫外光源 | 低壓汞燈 |
| 測量單位 | ppmw, mg/L | 量 程 | 0-150 mg/L (150 ppmw) |
| 精 度 | 0.5mg/L 或 1%讀數 (以較大值為準） | 水流量 | 高達150 SLPM |
| 采樣端口 | 1”, 3/4”, 3/8” Flaretek® 連接 | 壓強 | 55 PSI |
| 接觸材料 | 特氟龍®, 藍寶石, 與半導體流程相容 | 外殼 | 聚四氟乙烯特氟隆® |
| 尺寸 | 垂直固定(144 x 171 x 82 mm) | 電纜 | 特氟龍®外層 |
| 電源 | +15 VDC | 認證 | CE 認證 |
| 模擬輸出 | 4-20mA或0-5VDC，出廠時選擇 | 數字輸出 | I/O RS-232 或 RS485，出廠時選擇 |
| 遠程校零 | 通過DB15進行遠程零點校準 | 維護 | 紫外燈每24個月替換一次，無其他預定維護 |
