直流四探針電阻測試儀性能特點

v 多種測量參數可選

v 測量數據自動保持功能

v 的通訊接口可以與PC進行數據通訊及對儀器的遠程控制

直流四探針電阻測試儀以測試硅類半導體、石墨烯、熱敏材料、金屬、導電塑料等硬質材料的電阻率和方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測試柔性材料導電薄膜、PE膜、電容卷積膜、金屬箔、金屬涂層或者碳紙、薄膜、陶瓷、玻璃基底上導電膜（ITO膜）、鋰電池電池電極片、氫燃料電池電極片或納米涂層等半導體材料的電阻率和方阻。儀器適用于半導體材料廠、高等院校和科研單位對導體、半導體材料導電性能的測量。

BEST-300C 型材料電導率測試儀是運用四探針測量原理測試試導體、半導體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。

儀器成套組成：由主機、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。

主機主要由數控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統組成。自動/手動量程可選；電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換：儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入，簡便可靠；具有零位、滿度自校功能；測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電鋰電池供電，適合手持式變動場合操作使用！

探頭選配：根據不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO 膜）或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配專用探頭， 也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

儀器具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點。

儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。

技術參數

1. 測量范圍、分辨率（括號內為拓展量程，可定制）

電 阻：10.0×10-6  ～ 200.0×103 Ω, 分辨率 1.0×10-6  ～ 0.1×103 Ω

（1.0×10-6  ～ 20.00×103 Ω, 分辨率 0.1×10-6  ～ 0.01×103

Ω）

電 阻 率：10.0×10-6  ～ 200.0×103  Ω-cm 分辨率 1.0×10-6  ～ 0.1×103 Ω

-cm

-cm）

（1.0×10-6  ～ 20.00×103  Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103  Ω

方塊電阻：50.0×10-6  ～ 1.0×106  Ω/□ 分辨率 5.0×10-6  ～ 0.5×103 Ω/

□

（5.0×10-6  ～ 100.0×103  Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/

□）

2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)

直 徑： 圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限 方測試臺直接測試方式 180mm×180mm，手持方式不限. 長(高)度： 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.