技術參數
1.6.1. 元素分析范圍從硫(S)到鈾(U)；
1.6.2. 元素含量分析范圍為1PPm到99.99%；
1.6.3. 測量時間：60-200秒；
1.6.4. 同時分析鍍層層數：最多可達5層
1.6.5. 鍍層檢測厚度范圍：0.005-50μm（視材料類型而有所不同）首層厚度0.05μm以上測量誤差小于5%，穩定性小于1%，次層厚度0.25μm測量誤差小于10%，穩定性小于1.5%。最小測量厚度0.005μm.顯示精度0.0001μm.
1.6.6. 采用微聚焦準直技術，最小可達Ф0.2mm,應對小樣品和不規則樣品測試輕松自如。
1.6.7. RoHS指令規定的有害元素（限Cd/Pb/Cr/Hg/Br）其檢測限度達1PPM；
1.6.8. 能量分辨率為149±5電子伏特；
1.6.9. 溫度適應范圍為15℃至30℃；
1.6.10 電源：交流220V±5V；（建議配置交流凈化穩壓電源。）
