等離子廢氣凈化器，等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。
低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸至工業惡臭、異味、氣體處理。該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。
低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。
低溫等離子體處理設備的特點：
1、操作方便：低溫等離子體設備，操作簡單，方便.無需專人看管，如遇故障自動停機報警。
2、能耗低：低溫等離子體處理煙氣，運行費用低廉，約2～5瓦時/米3。
3、運行環境要求低：在-60℃~+300℃的環境內均可正常運轉，特別是在潮濕，甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行。
4、設備使用壽命長：本設備性強，在酸性氣體中。
