GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動(dòng)控制的樣品臺(tái)，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。
技術(shù)參數(shù)
輸入電源 | 208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W |
RF發(fā)生器 | - 輸出頻率：20-23kHz , 25KV
- 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm
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輸入氣體氣壓， 工作氣體 | - 40 PSI min.(0.055 Mpa)
- Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )
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等離子體工作壓力 | 7- 10 PSI |
工作環(huán)境 | 溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH |
樣品臺(tái)和控制柜 | - 配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái)，通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用SBC控制盒控制
- 可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離
- 控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
- 大掃描范圍：8" x 9"
- 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺(tái)上，可吸住直徑為6"的樣品。
- 配有一真空泵，可與真空吸盤相連接
- 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上（600x600x 800Lmm）
- 可選：可選加熱樣品臺(tái)（高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
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尺寸&重量 | - 處理樣品臺(tái)尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H
- 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
- 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H
- 重量：55kg
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質(zhì)保&質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) CE認(rèn)證 |
