一、產(chǎn)品介紹
半導(dǎo)體集成電路（IC）/晶圓制造是我國(guó)重點(diǎn)扶持和發(fā)展的領(lǐng)域，在生態(tài)環(huán)境保護(hù)方面，IC/晶 圓制造廠也在加大投入污染治理和污染物在線(xiàn)監(jiān)控，以降低對(duì)生態(tài)環(huán)境和居民的影響。
二、半導(dǎo)體IC／晶圓制造廠煙氣排放在線(xiàn)監(jiān)測(cè)技術(shù)特點(diǎn)
然而，IC/晶圓制造廠的廢氣/煙氣排放煙囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和VOCs排 口，每個(gè)Fab廠都有十到幾十個(gè)煙囪排口，而且酸性氣體多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs種類(lèi)多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對(duì)每個(gè)煙囪排口進(jìn)行在線(xiàn)監(jiān)測(cè)，就需要綜合考慮國(guó)際上*的監(jiān)測(cè)技術(shù)和建設(shè)經(jīng)濟(jì)效益，選擇的解決方案。
三、BO-SYS400IC解決方案
BO-SYS400IC是我司針對(duì)上述難點(diǎn)所提供的整體解決方案，滿(mǎn)足同時(shí)監(jiān)測(cè)全部排口，多種因子，包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了*的光譜法（UV/IR）監(jiān)測(cè)酸堿氣體和氣相色譜法（GC-FID）監(jiān)測(cè)VOCs氣體。
