催化氧化也稱無焰燃燒，其實質是催化氧化反應，即采用催化劑，利用催化劑的深度催化氧化活性將有機組分在燃點以下的溫度（200-400℃）與氧氣合生成水蒸汽和二氧化碳，達到凈化目的。催化燃燒的實質是活性氧參與的劇烈氧化反應，在低溫條件下，催化劑將氧活化，降低反應的活化能，當活化的氧與反應物分子接觸時發生能量傳遞，反應物分子被活化，導致可燃組分在燃點以下就可以發生燃燒反應，同時利用燃燒產生的熱量，進一步加速氧化反應的進行。
由此可見，催化劑主要催化效果取決于活性組分，目前活性組分主要有貴金屬（Pt、Ag、Pd和Au）。
RCO適用工況：
成分復雜、不具備回收價值，難以重復利用且不含使催化劑中毒元素（S、P、鹵素、重金屬）
處理風量：1000-20000Nm³/h
處理濃度：1000 mg/m³＜ 濃度 ＜1/4 LEL
RCO優點：
起燃溫度低，安全系數高，節約能源
幾乎能處理所有烴類有機廢氣及惡臭氣體
處理效率高，無二次污染
冷啟動預熱時間短（30Min以內）
其他：
某些元素會使催化劑中毒失活
催化劑有使用壽命（5年左右），需定期分批更換
