工業廢氣除臭裝置常用的有機廢氣處理方法有光氧催化、低溫等離子、微波催化、催化燃燒、活性炭吸附等，百這些有機廢氣因所處行業、濃度不同適合于不同的處理方法。
光氧催化氧化處理法：利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束度照射廢氣，使有機或無機高分子化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，與臭氧進行反應生成低分子化合物。
活性炭吸附法處理法：利用吸附劑的吸附功能使有機廢氣物質由氣相轉移至固相問，適用于處理低濃度，高凈化要求的有機廢氣。
低溫等離子體廢氣處理法：等離子體內部產生富含*化學活性的粒子，廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，轉化為CO2和答H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
催化燃燒法廢氣處理法：在高溫下有機廢氣物質與燃料氣充分混和，在催化劑實現*燃燒。
工業廢氣除臭裝置
化學法除臭：化學洗滌吸收、燃燒法、等離子法除臭、光催化氧化技術、臭氧機對空氣微生物殺菌及除臭技術、植物提取液除臭；
光催化氧化技術：“在高能紫外線C波光的照射下，臭氣中的被分解產生游離氧，游離氧攜帶正負電荷不平衡，需以結合生成，攜帶正電荷的游離氧本身也具有強的氧化性。在高能紫外線C波光的照射、氧化、氧離子自由基的聯合作用下，將無機或有機高分子惡臭物質轉變為無毒無害的低分子物質，如水，二氧化碳等，同時還具有殺菌功能。
物理法除臭：洗滌、掩蔽法、吸附、冷凝、稀釋擴散法；
吸附：吸附劑分為活性炭、活性氧化鋁、硅膠等，而活性炭是常用的吸附劑之一，對大多數有機廢氣具有良好的凈化效果。
當碳達到飽和吸附時，吸附容量約為35%。當用于凈化設備時，碳的吸附容量應為20-25%，即每噸活性炭活性炭可吸附200~250kg有機氣體。
