產品特性優點

1：內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸

2: 采用7英寸觸摸屏控制面板，操作更加便捷

3：采用“密閉碗”設計，可以適應各種材料的勻膠工藝。

4：標準配置的轉速為10000rpm，可以根據用戶需要進行定制

5：采用工業級的伺服電機，電機*的設計可以避免光刻膠等污染物進入電機內部

6：機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。

7：排風和抽氣系統位于載片臺的底部，利于排風效率和勻膠的均一性

8：透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出及有效有毒氣味的散發。

產品參數

轉速范圍：20-5000rpm，10000rpm可選
轉速分辨率：±1rpm
加速度可調范圍：20-10000rpm/s
單步時長：3000s
時間分辨率：0.1s
涂膠均勻性：≤±3%
可編程100組100步程序，更多可擴展
帶四路自動點膠端口，可升級多路自動點膠功能
可配6寸，8寸鋁合金真空載物盤，特殊規格需定制
外型尺寸：463mm(W)*613mm(D)*306mm(H)