產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)

1：內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸

2: 采用7英寸觸摸屏控制面板，操作更加便捷

3：采用“密閉碗”設(shè)計(jì)，可以適應(yīng)各種材料的勻膠工藝。

4：標(biāo)準(zhǔn)配置的轉(zhuǎn)速為10000rpm，可以根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制

5：采用工業(yè)級的伺服電機(jī)，電機(jī)*的設(shè)計(jì)可以避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部

6：機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。

7：排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺的底部，利于排風(fēng)效率和勻膠的均一性

8：透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出及有效有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品參數(shù)

轉(zhuǎn)速范圍：20-5000rpm，10000rpm可選
轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
加速度可調(diào)范圍：20-10000rpm/s
單步時(shí)長：3000s
時(shí)間分辨率：0.1s
涂膠均勻性：≤±3%
可編程100組100步程序，更多可擴(kuò)展
帶四路自動點(diǎn)膠端口，可升級多路自動點(diǎn)膠功能
可配6寸，8寸鋁合金真空載物盤，特殊規(guī)格需定制
外型尺寸：515mm(W)*750mm(D)*410mm(H)