產品特點：

•智能控制模塊，參數顯示更直觀更易操作；

•射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

•齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;

•4通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控；

•爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

加熱爐參數：

•雙溫區爐膛

•溫度：1200℃（≤2h）

•額定工作溫度：1100℃

•推薦升溫速率:≤10℃/min

(40℃/min 800℃注：急速升溫影響設備使用壽命）

•加熱區長度：L總：440mm；

溫區一：200mm

溫區二：200mm

•加熱爐額定功率：3KW/220V （配置空開30A）

•滑動方式：手動

•電壓：單相AC 208 - 240V， 50HZ

•石英管堵

•爐管規格：Φ外： 100mm φ內： 94mm L長： 1800 mm

•材料：高純石英

溫控系統：

•模糊PID控制和自整定調節功能

•智能化30段可編程控制

•具有超溫及斷偶報警功能

•控溫精度:±1℃

•帶RS485通訊接口  PC接入，,并附帶控制軟件，加熱爐數據可每分鐘記錄保存一次。

•帶過電流過電壓保護,漏電保護

•電氣完祥岌電纜，冷壓端子藥符合UL認證標準

軟件控制：

•傳統PECVD與開發的智能通訊模塊組合，可對傳統PECVD實現自動化升級

•可自由搭配各種系統控制組合自定義CVD系統，例如溫控系統可選擇溫區或各品牌儀表控制；氣路系統可選擇設備型號，計算氣體總摩爾質量，可以搭配射頻電源系統，真空系統等我公司生產的其他CVD系統模塊，通過智能控制盒和上位機自定義CVD生態控制系統實現隨意自定義組合CVD系統控制生態平臺，控制可搭配觸摸式一體機或者WIFI連接筆記本和臺式設備，搭配智能控制盒擴展接口可利于客戶后期采購任意CVD模塊升級現有CVD設備，例如后期增加壓力可控模塊可在購買該系統模塊后連接通訊線至智能控制盒，在軟件界面選擇該系統模塊即可在現有的cvD模塊控制界面添加壓力可控功能。

•使其具備了自動化運行，數據存儲，以及遠程操作性能

•該模塊可對所有我公司CVD模塊進行連接，并搭配家用路由器可實現無線遠程的操控和存儲。

射頻電源：

•500W射頻電源

• 0--500W可調（穩定性±1%）

•射頻頻率：13.56MHZ

•自動匹配 風冷

•噪音<50dB

•輸入電壓：AC108-250V

供氣系統：

•四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%)

•流量范圍：一路0-100 sccm

二路0-200 sccm

三路0-200 sccm

四路0-500 sccm

•連接接口：6.35mm雙卡套連接

•金屬管路：材質：SUS316

φ外：6.35mm φ內：4mm

•軟管路：材質：特氟龍

φ外：6.35mm Φ內：4mm

注：接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下

真空系統：

•采用TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）

•KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵

•配置KF-25真空手動擋板閥

•真空度可達10^-2Torr

產品重量和尺寸：

•爐體尺寸：2200mm L*8500mmW*1400mm H;

質保：

一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件