產品特點：

•射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

•整套設備尺寸小巧；

•可通過工藝調節來控制化學計量；

•可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應力。

加熱爐參數：

•溫度：1100℃（《30min）；連續工作溫度：1000℃；

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃；

•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。

射頻電源：

真空系統：

•采用TRP-12的雙旋真空泵；

•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

•真空度可達10-2Torr。

產品尺寸和重量：

•尺寸：1500mm L'600mm W'1200mm H

•凈重： 75 kg

質保：

一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件