主要特點

•真空吸附方式固定樣件，操作簡便。

•使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。

•根據樣件規格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。

•設有12組程序，每組包含6個運行階段。

•電機啟動快速穩定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

•50W/24V 直流電機

•適于在Ar氣環境中工作（真空泵放置在手套箱外）

 基

本

參

數

•電機功率：50W/24V

•速度范圍：500-10000rpm

•程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段

•增減速率設置：100rpm/s-2000rpm/s

•時間范圍：0-60s

•吸盤：Φ19mm、Φ60mm

進氣口：

上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現在氣氛環境下旋轉涂覆

可選加熱部分：

上蓋內部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數字溫控器控溫，120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。

產品尺寸：450mm×280mm×340mm；

重量：20kg

可選配件：過濾器（真空泵用）

保修期：一年保修，終身技術支持。

標準配件：

1   真空吸盤（含O型圈）     2個

2 中心定位器（含4個定位柱） 1個

3 滴膠注射器（20ml）          1個

4 注射器支架                 1個

5 AP-1400V無油真空泵         1臺

6 橡膠管（含卡箍）         1根