工業手動真空球閥既能適用高真空又能適用一定的正壓力下使用由于球閥全通導又能達到超高真空要求,所以真空球閥也能適用于加速器真空系統。密封結構設計*漏率可達到<1×10-10Pa.M3/S,改變了球閥不能滿足高真空、超高真空的現狀。
在真空系統中的作用:
1、開關氣路,當閥1和閥4關閉,閥2打開時,機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經預真空抽氣管路;當閥2關閉,閥4打開時,機械泵可單獨對擴散泵抽真空;當閥1和閥4同時打開時,擴散泵和機械泵可同時工作,對容器進行抽空,此時氣流流經擴散泵。可見,閥門在這種操作中的作用是開關氣路,改變氣流的流經路線。
2、控制氣流大小,調節真空度在圖1中,調節閥1的閥蓋開啟角度,即可調節流經管路的氣流量大小;關閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。
工業手動真空球閥工作原理: