低溫等離子體廢氣凈化設備VOCs機理
電子在外加電場的作用下，從電場中獲得能量，成為高能電子，這些高能電子速度很快，在與污染物接觸時，通過非彈性碰撞將其自身攜帶的能量傳遞給污染物，轉化為汚染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，一方面這些活性基因與污染物分子通過化學反應，然后生成ＣO2和H2O，另一方面當污染物分子獲得的能量大于其自身結合鍵能時，污染物分子的分子鍵斷裂，分解成無害的氣體或單質原子。
等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子，空氣中的氧氣和水被電離后，變成氧原子和氫原子，氧原子與氧氣和其他單原子結合時，產生大量OH、H2O、O等活性自由基和氧化性強的O3，這些自由基與有害氣體分子發生一系列復雜的化學反應，最后生成無害或者低害產物。
低溫等離子體廢氣凈化設備低溫等離子體凈化設備等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。
放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。等離子體技術目前主要有四個領域，分別是介質阻擋放電（雙介質、單介質）、*放電（金屬、纖維）、板式放電、微波放電，在實際應用中多采用組合模式。
在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊廢氣分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。
物理作用表現在極板具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染頓發生非彈性碰撞并附著在其表面上從而使其荷電，在外加電場的作用下，荷電的顆粒物向集塵極移動，并被集塵極收集。
生物作用表現在具有消毒殺菌的作用。等離子體中的正負粒子使微生物表而產生的電能剪切力大于巧納胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。
