萬級凈化車間標準包括
1.塵粒允許數(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子數不得超過350000個,大或等于5
微米的粒子數不得超過2000個;
3.微生物允許數;
4.浮游菌數不得超過100個每立方米;
5.沉隆菌數不得超過3個每培養皿。
壓差:相同潔凈度等級的凈化車間壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa,凈化車間與非凈化車間之間要≥10Pa。
萬級凈化車間對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏24~26℃;波動±2℃。冬季凈化車間濕度控制在30-50%,夏季凈化車間濕度控制在50-70%。
配電:凈化車間(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
光學微電子凈化工程一般包括:
1、潔凈生產區
2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
光學微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效凈化重復以上過程,即可達到凈化目的。
承接萬級電子無塵潔凈凈化車間——承接萬級電子無塵潔凈凈化車間