性能

• 可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
• 氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包裝清單：

• MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件

型號變體

• 閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
• 閥門內置并加裝氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
• 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

另有：

• 閥門安裝在外部的標準配置型號(MC系列)

閥門選項

您可以為您的質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

• MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
• MCV系列—選配內部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動截止閥

腐蝕性氣體（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供選擇。在該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。

結構選項

• 通訊協議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項

• 流量累加器
• 集成式電位計控制
• 高精度或自定義校準

反應濺射氣體流量控制

以50ms控制響應速度精確控制真空室內反應氣體的分壓以避免靶件噴涂過度，良好的分辨率保證了適當的原子釋放，氣動截止閥確保無流量時的正向切斷。

升級您老舊的熱式質量流量控制器只是我們艾里卡特簡化真空鍍膜所用的一種方式。