設計功能

吸附濃縮IC、光電產業生產過程中，黃光區內光阻涂布等制程工藝揮發的有機物，并輸送至后序有機排氣系統集中處理。避免VOCs在潔凈間環境內積聚，影響產品良品率。適用于含PGMEA、PGME、IPA、環己酮等為主的有機揮發性氣體。恒溫恒濕潔凈環境，處理效率≥98%。

工藝原理

集成過濾器、沸石轉輪與電加熱器。沸石吸附濃縮潔凈間廢氣中VOCs成分，經電加熱器加熱脫附，恢復吸附能力，持續吸脫附。經沸石濃縮的VOCs進入下一步工序。