程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱說明
可程式潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱內部為不銹鋼結構,全部采用無塵材料,箱內持續充氮,使烘箱工作室內處于潔凈狀態。工作室內溫度由溫控儀自動控制,可設定定值運行、程序(曲線)運行自由切換,并有自動恒溫及時間控制,并附設有超溫自動停止加熱及報警電路,控制可靠,使用安全。
程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱技術指標:
2.1溫度范圍: RT(室溫)+15~200/300/400/500/600℃;
2.2溫度均勻度:≤±1.5%℃;
2.3升溫速度: 0-15℃/min;
2.4熱風循環方式:水平送風
2.5工作尺寸:
D350×W350×H350mm
D500×W500×H500mm
D500×W600×H700mm
D600×W600×H800mm
D1000×W1000×H1000mm
D1200×W1400×H1200mm
......
多尺寸定制
2.6箱體數:1.2.3.4.6.8
2.7 運行方式:定值、程式
3、箱體結構:
3.1箱體材料:外箱采用優質冷軋板烤漆或不銹鋼;
3.2內室材料:采用SUS304#、316L無磁性鏡面不銹鋼;
3.3保溫材料:超細陶瓷纖維;
3.4排 氣 口:ф50,位于箱體側方;
3.5 隔 板:2層,不銹鋼板沖孔,承重約30KG;
3.6空氣循環裝置:大容量軸流電機;
3.7加熱方式:不銹鋼電加熱器;
程控式氮氣潔凈烤箱用途
氮氣潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料烘烤、涂膠后堅膜烘烤,治具烘烤等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、固化、熱處理、老化試驗,可靠性試驗等其他高溫試驗。
選配功能:
潔凈度:百級(class100)無塵
氧濃度:20ppm,可監測
降溫功能:風冷、水冷
智能軟件:MES,GEM等工業4.0智能工控