設備特點
此款CVD系統前端配有可加熱到400℃的預加熱器，輔助二維材料蒸發，后端為雙溫區管式爐，溫度控制精確，操作簡便。并配質量流量計系統和真空系統，可以準確的反應腔體內部的氣體壓力和氣體流量，對于做低壓CVD實驗非常實用，重復性好。
硫粉預熱器 | 工作溫度：400℃ Z高溫度：1200℃ Z快升溫速率：≤30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 |
加熱區參數
| 額定功率：5kw Z高溫度：1200℃ 工作溫度：1100℃ Z大升降溫速率：≤30℃/min 爐管尺寸：高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm (管徑可選) 加熱區長度：200+200mm 恒溫區長度：290mm 控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 標準配件：石英管1支，莫來石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支； 尺寸：約 550×380×600 mm（爐子） 約：1700×380×620 mm（爐子+滑軌） 可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。 |
氣路系統參數
| 質量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa Z大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數字顯示 工作環境溫度:5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。 |
低真空系統參數
| 國產油泵型號：BSV-10 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機功率：0.4kw 進排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉速：1440rpm 工作環境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數： 1.配用規管：ZJ-52T電阻規， 2.測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測量路數： 1路 4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
使用注意事項
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