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PECVD-500A/PECVD-S-150A 等離子輝光滑軌PECVD系統 實驗室臭氧發生機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱重慶開衡科技有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/5 9:39:21
  • 訪問次數284
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重慶開衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有著高等學歷、優良品質、豐富經驗的專業人士組建的一家客戶驅動型企業。 公司自成立以來,不斷拓寬資源渠道,完善產品結構,積累專家智庫,提高本地化服務水平。致力打造科學研究、分析檢測相關實驗室設備和消耗品“一站式”采購平臺,幫助客戶建設一個完備可靠的實驗室。 一個渠道,無限解決方案。開衡科技提供所有實驗室儀器和設備的支持和供應管理,不限生產廠家,憑借我們專業技術和服務能力,幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產力。 我們的產品包括:天平、箱類控溫系統、離心機、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質檢測儀器、樣品低溫存儲設備、細胞培養設備、樣品離心及濃縮處理系統、微孔板分析儀器、實驗室純水、恒溫產品、質量控制檢測設備、自動化設備、移液器,以及實驗室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實驗室家具等等。 開衡科技以豐富的選擇,便捷的網絡,迅速有效的售后服務,為重慶地區各大專院校、科研院所、工業單位,涉及制藥、環監、食品、農業、醫學、化工、石化、材料、電子等行業的科技工作者提供服務和支持。多年實干,公司在用戶中已贏得廣泛贊譽,并成為重慶地區科學儀器行業內受尊敬的供應商之一。
實驗室儀器設備,,
實驗機理PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:1,電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術
PECVD-500A/PECVD-S-150A 等離子輝光滑軌PECVD系統 實驗室臭氧發生機 產品信息

實驗機理

PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:

1, 電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。

2, 通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單。

主要特點

我公司研制的滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。

1.與傳統CVD系統比較,生長溫度更低。

2.使用滑軌爐可實現快速升溫和降溫。

3. 設備*的技術使得整管輝光均勻等效,均勻生長。

技術參數

產品型號

BTF-1200C-SL-PECVD

工作電源

AC220V /50HZ

工作電源

AC220V /50HZ

額定功率

3KW

爐管尺寸

Φ50/60/80/100(可選)*1650mm

工作溫度

1100℃

Z高溫度

1200℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

10℃/min

加熱元件

電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)

加熱區長度

440mm/220mm

恒溫區長度

200mm/100mm(±1℃)

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

爐門結構

開啟式

氣路系統(可定制)

1、系統內部裝有高精度質量流量計可準確的控制氣體流量。2、氣體流量范圍1-1000sccm(可選),誤差為±1.5%。3、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。4、不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入。

射頻電源與匹配器500W/150W

1、電源:單相50/60Hz 220v±10%
2、加熱(功率)電源:2.5KW,25A/ 3、控制柜電源空氣開關:32A空氣開關
4、生長室溫度:室溫~ 1200℃ 5、射頻頻率:13.56MHz
6、射頻功率輸出范圍:5~500W

真空機組

低真空或高真空機組(根據實際需要)


各組成部分名稱


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