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三溫區滑軌式PECVD系統(BTF-1200C-III-SL-PECVD) 實驗室臭氧發生機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱重慶開衡科技有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/2 9:21:06
  • 訪問次數286
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重慶開衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有著高等學歷、優良品質、豐富經驗的專業人士組建的一家客戶驅動型企業。 公司自成立以來,不斷拓寬資源渠道,完善產品結構,積累專家智庫,提高本地化服務水平。致力打造科學研究、分析檢測相關實驗室設備和消耗品“一站式”采購平臺,幫助客戶建設一個完備可靠的實驗室。 一個渠道,無限解決方案。開衡科技提供所有實驗室儀器和設備的支持和供應管理,不限生產廠家,憑借我們專業技術和服務能力,幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產力。 我們的產品包括:天平、箱類控溫系統、離心機、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質檢測儀器、樣品低溫存儲設備、細胞培養設備、樣品離心及濃縮處理系統、微孔板分析儀器、實驗室純水、恒溫產品、質量控制檢測設備、自動化設備、移液器,以及實驗室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實驗室家具等等。 開衡科技以豐富的選擇,便捷的網絡,迅速有效的售后服務,為重慶地區各大專院校、科研院所、工業單位,涉及制藥、環監、食品、農業、醫學、化工、石化、材料、電子等行業的科技工作者提供服務和支持。多年實干,公司在用戶中已贏得廣泛贊譽,并成為重慶地區科學儀器行業內受尊敬的供應商之一。
實驗室儀器設備,,
主要特點我公司研制的滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象
三溫區滑軌式PECVD系統(BTF-1200C-III-SL-PECVD) 實驗室臭氧發生機 產品信息
主要特點
我公司研制的滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。
1.與傳統CVD系統比較,生長溫度更低。
2.使用滑軌爐實現快速升溫和降溫。
3.設備*的技術使得整管輝光均勻等效,均勻生長。
技術參數

三溫區滑軌爐
BTF-1200C-III- SL
爐管尺寸
外徑Φ100*2330mm(可選)
極限溫度
1200℃
工作溫度
≤1100 ℃
溫度控制器
PID自動控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器
Z快升溫速率
20℃/min
加熱區
300+300+300mm
恒溫區
150+200+150mm
控溫精度
±1 ℃
電源
單相220V,交流50Hz
4路質量流量供氣系統
Z大電壓
185~245V/50Hz
Z大輸出功率
18W
流量計標準量程
100,200,200,500SCCM;(非特殊以氮氣標定,量程可選定
工作溫度
5~45 oC
工作壓差
0.1~0.5 MPa
Z大壓力
3MPa
準確度
±1.5% FS
測量范圍
-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
針閥
316不銹鋼
混氣罐
Φ80×120mm
截止閥
Φ6mm”316不銹鋼針閥
尺寸
600*600*650mm
低真空系統
空氣相對濕度
≤85%
工作電電壓
220V±10% 50~60HZ
功率
500W
抽氣速率
10m3/h
極限真空
4X10-2Pa
實驗真空度
1.0X10-1Pa
容油量
1.1L
進氣/排氣口徑
KF25
噪音
50dB
外形尺寸
600×600×600mm
射頻電源
信號頻率
13.56MHz±-0.005%
射頻功率輸出范圍
5W-500W
Z大反射功率
200W
射頻輸出接口
50Ω。N-type,female
功率穩定度
±0.1%
諧波分量
-50dbc
供電電壓
單相50/60Hz 220v±10%
整機效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷卻方式
強制風冷


15700106413
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