低溫等離子體技術(shù)是近年發(fā)展起來(lái)的廢氣處理新技術(shù)，低溫等離子體處理廢氣的原理為：
當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，以達(dá)到降解污染物的目的。
低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場(chǎng)的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹?jiǎn)單小分子安全物質(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)闆](méi)有毒害或低毒低害物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在1eV～10eV，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實(shí)現(xiàn)一般情況下難以實(shí)現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得十分快速。
電場(chǎng)的設(shè)計(jì)使廢氣粒子的運(yùn)動(dòng)速度較低，一般在零點(diǎn)幾秒內(nèi)便能使廢氣粒子荷上足夠的電荷，帶電粒子在電場(chǎng)中會(huì)受到電場(chǎng)力（庫(kù)侖力）的作用，其結(jié)果是油煙粒子被吸附到陽(yáng)極上。因此凈化率非常高，而且特別適用于捕捉粒徑較小和重量較輕的廢氣粒子。

1 高效的處理效果：低溫等離子廢氣處理設(shè)備效率可以去除到90%
2 運(yùn)行費(fèi)用低：工業(yè)等離子廢氣凈化設(shè)備采用的蜂窩電場(chǎng)、臥式結(jié)構(gòu)，阻力小。減少了風(fēng)機(jī)的阻力，降低了運(yùn)行費(fèi)用；設(shè)備本身采用*的高壓控制系統(tǒng)和高壓電源，轉(zhuǎn)換效率高，耗電低。
3 維護(hù)方便：需要定時(shí)清洗的部件為可拆卸的模塊化組合，這樣既方便設(shè)備日常的清洗維護(hù)，也有利于這些部件的維修替換。
4 可升級(jí)性：設(shè)備都采用標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接的組合式結(jié)構(gòu)，使設(shè)備具有可升級(jí)性。模塊化凈化單元可以靈活組合，根據(jù)不同的凈化處理量 及凈化率要求，單元數(shù)量可作適應(yīng)性調(diào)整。