名稱

8英寸三溫區旋轉CVD管式爐系統-OTF-1250X-R8-III

管式爐結構

開啟式管式爐設計方便進行爐管的更換和維修。

加熱元件選用Sic棒。

三溫區加熱，總加熱長度1170mm。

爐膛材料選擇高純氧化鋁纖維，可以極大程度降低能耗。

爐管由直流電機驅動進行旋轉。

旅館旋轉速度：0-10rpm。

爐管可傾斜角度：0-15°可調。

工作電壓：AC 208-240V，三相（需一50A空氣開關）。

功率：30KW。

產量：每批25Kg。

加熱區以及恒溫區

三個加熱區，每個加熱區長度為380mm。

總加熱區長度：1170mm。

兩個氧化鋁管堵與法蘭連接置于爐管兩端隨爐體移動，防止熱量以熱輻射的形式損失。

可選管材與其工作溫度

兩種管材可選進行訂購：

高純石英管，工作溫度：1200℃

石英管尺寸：8.5” OD×8.1”ID×63”L

內部焊接有揚料板，使粉體燒結更加充分和均勻

NiCrA1合金管，工作溫度：1250℃

合金管尺寸：8” OD×7”ID×63”L

密封法蘭（可選）

爐管包含一套密封法蘭，標準配置如下：

采用鉸鏈式法蘭（方便進行裝卸料）。

機械壓力表（范圍-0.1MPa~0.15MPa）。

不銹鋼針閥&1/4”軟管接頭，KF25真空接頭以及1/4”接頭。

旋轉接頭：采用動密封旋轉接頭，進氣口φ6mm，所有配件都為可旋轉配件。

真空度：10-2torr（用機械泵）。

注意：由于石英管和合金管外徑不同，故兩管法蘭不能互換使用。

溫度控制

采用PID方式調節溫度，可設置30段升降溫程序。

具有超溫及斷偶報警功能。

通信端口：RS485.

可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集（需另購）

工作溫度

連續工作溫度：

石英管：400~1100℃

NiCrA1合金管：400~1250℃

加熱/冷卻速度：10℃/min

溫度精度：恒溫區±1℃

質保期

一年質保期，終生維護（不包括爐管、加熱元件和密封圈）

質量認證

CE認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA認證

若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

產品參數

產品重量：900Kg

產品尺寸：1600 L×800 W×1900 H mm

可選配件

微量氧分析儀（0-1000ppm）

注意：氧分析儀需安裝在一側法蘭處并且保持氣體流動進行測試分析

警告

爐管內氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司購買減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態。爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱的實驗，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

應用注意事項

通過容積式給料器、法蘭處采用磁流體密封旋轉接頭可實現連續喂料。

采用該設備做CVD實驗時，可選購本公司的多路混氣系統進行氣體精確配比及流量控制。

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