由管式爐+真空系統+供氣系統+水冷系統組成 ，溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
S-1200G管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
軟件控制系統：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
產品用途：
可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質涂層、裝飾等領域。
產品參數：
- 產品型號：S-1200PC
- 氣路控制：浮子流量計/質量流量計
- 真空系統：旋片泵/擴散泵/分子泵
- 可選配件：水冷機/數顯真空計
- 溫度：1200℃(可定制)
- 工作溫度：≤1100℃(可定制)
- 加熱元件：合金加熱絲
- 溫控方式：智能化30段PID微電腦可編程控制
- 溫控保護：具有超溫及斷偶報警功能
- 熱電偶：K型
- 爐膛材質：高純氧化鋁多晶纖維
- 加熱速率：0-20℃/分
- 恒溫精度：±1℃
- 極限真空：6.0×10-5Pa
- 工作真空：7.6×10-4Pa
- 均勻性：±5℃
- 爐殼結構：雙層殼體帶風冷系統
- 額定功率：4Kw
- 供電電源：110-480V 50/60Hz
- 售后服務：12個月質保，終身保修(易損件除外)
