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廣電計量檢測集團股份有限公司

開啟式管式爐PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱河南熱處理設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號S-1200K-CV
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/2/12 10:06:22
  • 訪問次數268
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河南熱處理設備有限公司是一家專業從事熱處理產品的研發、生產、制造、銷售、服務于一體的。公司產品涵蓋箱式爐、高溫管式爐、氣氛爐、箱式馬弗爐、CVD系統、PECVD設備、牙科爐、升降爐、真空爐、定制爐型等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結、新能源材料研發、金屬光亮處理、零部件退火、科學研究等多個領域。多年來公司堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品品質和完善技術服務,憑借過硬的技術、豐富的實踐積累,先后研發出了一系列具有水準的實驗電爐和工業爐。電爐擁有完整、科學的質量管理體系,標準化的生產制造車間,具有年產1000臺電爐生產制造能力,生產規模位居,是國內具有影響力的實驗電爐、工業爐生產制造商。公司目前有一線員工百余人,多名專業熱工技術工程師和設計制造工程師, 并聯合多所重點科研院校共同建立了多個技術研發項目,為每一位客戶提供高技術含量的產品解決方案和優質的服務是電爐所有人的神圣職責!
真空馬弗爐
開啟式管式爐PECVD系統由高溫管式爐,真空壓強控制系統,多通道高精度數字質量流量控制系統,過壓保護及冷凝等部分組成,可實現真空達0.1mbar混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。
開啟式管式爐PECVD系統 產品信息
功能特點:
在真空壓力下,加在電感線圈的射頻電場,使反應室氣體發生輝光放電,在輝光發電區域產生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量,其本身溫度很高,它與氣體分子相碰撞,使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,并發生化學反應生成介質膜,副產物從襯底上解吸,隨主氣流由真空泵抽走,稱為等離子體增強化學氣相沉(PECVD)
產品用途:
PECVD開啟式管式爐系統由開啟式管式爐、高真空分子泵系統、射頻電源系統及多通道高精度數字質量流量控制系統組成,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇。
適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用
產品參數
  • 控溫方式:采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。
  • 加熱元件:0Cr27Al7Mo2
  • 工作電源:AC220V 50Hz/60Hz
  • 額定功率:4kw
  • 爐管材質:高純石英管
  • 爐管尺寸:Φ60/Φ80*1200mm
  • 工作溫度:≤1150℃(可定制)
  • 溫度:1200℃(可定制)
  • 恒溫精度:±1℃
  • 恒溫區:200mm(可定制)
  • 升溫速度:≤10℃/min
  • 密封方式:不銹鋼快速法蘭擠壓密封
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 產品配置:雙級旋片真空泵+分子泵
  • 測量方式:復合真空計
  • 真空規管:電阻規+電離規
  • 冷卻方式:風冷
  • 抽速:110L/S
  • 射頻電源系統
  • 射頻功率輸出范圍:5~500W
  • 射頻頻率:13.56MHz±0.005%
  • 噪聲:≤55DB
  • 冷卻方式:風冷
  • 功率溫定度:± 0.1%
  • 混氣系統流量規格:0-200sccm (可根據客戶需要配置)
  • 線性:±1.5%F.S
  • 準確度:±1.5%F.S
  • 重復精度:±0.2%F.S.
  • 響應時間:≤8sec
  • 耐壓:3MPa
  • 氣路通道:4通道(根據客戶需求)
  • 針閥:316不銹鋼
  • 管道:Φ6mm不銹鋼管
  • 接口:SwagelokΦ6mm
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