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廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

實(shí)驗(yàn)室滑軌爐PECVD系統(tǒng)設(shè)備

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱河南熱處理設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號S-1200H-CV
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/2/12 10:04:49
  • 訪問次數(shù)237
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河南熱處理設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事熱處理產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、制造、銷售、服務(wù)于一體的。公司產(chǎn)品涵蓋箱式爐、高溫管式爐、氣氛爐、箱式馬弗爐、CVD系統(tǒng)、PECVD設(shè)備、牙科爐、升降爐、真空爐、定制爐型等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結(jié)、新能源材料研發(fā)、金屬光亮處理、零部件退火、科學(xué)研究等多個領(lǐng)域。多年來公司堅(jiān)持以客戶需求為導(dǎo)向,致力于不斷提高產(chǎn)品品質(zhì)和完善技術(shù)服務(wù),憑借過硬的技術(shù)、豐富的實(shí)踐積累,先后研發(fā)出了一系列具有水準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)爐。電爐擁有完整、科學(xué)的質(zhì)量管理體系,標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)制造車間,具有年產(chǎn)1000臺電爐生產(chǎn)制造能力,生產(chǎn)規(guī)模位居,是國內(nèi)具有影響力的實(shí)驗(yàn)電爐、工業(yè)爐生產(chǎn)制造商。公司目前有一線員工百余人,多名專業(yè)熱工技術(shù)工程師和設(shè)計(jì)制造工程師, 并聯(lián)合多所重點(diǎn)科研院校共同建立了多個技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目,為每一位客戶提供高技術(shù)含量的產(chǎn)品解決方案和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)是電爐所有人的神圣職責(zé)!
真空馬弗爐
實(shí)驗(yàn)室滑軌爐PECVD系統(tǒng)設(shè)備通過滑動爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。
實(shí)驗(yàn)室滑軌爐PECVD系統(tǒng)設(shè)備 產(chǎn)品信息
功能特點(diǎn):
本套PECVD系統(tǒng)通過滑動爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等的理想選擇
產(chǎn)品用途:
高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。
產(chǎn)品參數(shù)
  • 爐體結(jié)構(gòu):雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫;
  • 爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn)
  • 爐子可以手動從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻
  • 爐蓋可開啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料
  • 電源電壓:AC220V 50/60Hz;
  • 功率:4KW
  • 爐管材質(zhì):高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小
  • 爐管尺寸:Φ60*1250mm(可定制)
  • 加熱系統(tǒng):加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用
  • 加熱區(qū)長度:400mm(可定制)
  • 恒溫區(qū)長度:200mm(可定制)
  • 工作溫度:≤1150℃(可定制)
  • 溫度:1200℃(可定制)
  • 升溫速率:10℃/min
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 溫控系統(tǒng):溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能、30段升降溫程序
  • 測溫元件:N型熱電偶
  • 恒溫精度:±1℃
  • 混氣系統(tǒng):四路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動控制、內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥、管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套、每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥、通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量
  • 流量規(guī)格:0~200sccm
  • 流量精度:±1.5%
  • 高真空真空系統(tǒng):采用雙級旋片真空泵+分子泵,極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa
  • 復(fù)合真空計(jì),配置電阻規(guī)+電離規(guī)
  • 抽速:110L/S
  • 冷卻:風(fēng)冷
  • 射頻電源系統(tǒng)輸出功率:0-300W
  • 功率穩(wěn)定度:±0.1%
  • 射頻電源頻率:13.56MHz 穩(wěn)定性±0.005%
  • 反向功率:120W
  • 射頻電源電子輸出端口:UHF
  • 冷卻:風(fēng)冷
  • 電源:AC187-253V 50/60Hz
  • 可選配件:混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。
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