廢氣處理設(shè)備

　　維護(hù)保養(yǎng)及注意事項(xiàng)

　　1.電源不正常

　　聯(lián)系供電部門(mén)是不是已對(duì)RTO系統(tǒng)供電;檢查相關(guān)電源開(kāi)關(guān)及線路;注意保險(xiǎn)絲是不是熔斷。

　　2.變頻器故障

　?、贆z查PLC與變頻器及變頻器與顯示屏之間的通訊是不是正常，非常是通訊線是不是松動(dòng)脫落。

　?、谙到y(tǒng)斷電后，因風(fēng)機(jī)的電機(jī)過(guò)電壓愛(ài)護(hù)，變頻器可能會(huì)出現(xiàn)故障指示。再次通電啟動(dòng)后，按變頻器復(fù)位鍵即可。

　?、廴顼L(fēng)機(jī)自動(dòng)停車(chē)，可對(duì)動(dòng)力柜斷電再通電重新啟動(dòng)。

　?、苷Ｍt后，再次啟動(dòng)RTO設(shè)備也可能出現(xiàn)這種情況，按變頻器復(fù)位鍵即可。

　　⑤如風(fēng)機(jī)電機(jī)故障，則可能造成電機(jī)過(guò)電流，變頻器故障報(bào)警。

　　3.風(fēng)機(jī)風(fēng)壓低報(bào)警

　?、偃糇冾l器正常，則檢查電機(jī)(是不是運(yùn)轉(zhuǎn)，有無(wú)異響)、軸承及電路(電機(jī)有無(wú)正常上電)。

　?、谌糇冾l器顯示故障信號(hào)，經(jīng)復(fù)位后仍不可以恢復(fù)正常，則需專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員檢查維修。

　?、鄄炜达L(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)情況，如轉(zhuǎn)動(dòng)未見(jiàn)異常，則更換壓差開(kāi)關(guān)。

　　4.當(dāng)故障提示“壓縮空氣壓力低”

　　①確認(rèn)壓縮空氣主管道上手動(dòng)閥有無(wú)開(kāi)啟。

　?、诖_認(rèn)供氣系統(tǒng)是不是正常。如是則檢查壓力開(kāi)關(guān)參數(shù)設(shè)定是不是正確4bar或是不是損壞;如否則聯(lián)系檢查空壓機(jī)與干燥機(jī)是不是正常工作。

　　③檢查壓縮空氣管路有無(wú)泄漏。如正常，則檢查壓縮空氣管路有無(wú)泄漏。

　　5.氣動(dòng)閥門(mén)動(dòng)作異常

　　(1)如全部閥門(mén)均不動(dòng)作，則可能的問(wèn)題根源如下：

　?、贆z查壓縮空氣壓力是不是在正常范圍4～6kgf/cm2，壓縮空氣主管道上手動(dòng)閥有無(wú)開(kāi)啟。

　　②PLC柜直流電源有無(wú)問(wèn)題，保險(xiǎn)絲是不是熔斷。

　　(2)如單個(gè)閥門(mén)動(dòng)作異常，則可能的問(wèn)題根源如下：

　　①檢查該閥門(mén)對(duì)應(yīng)的壓縮空氣小管道上手動(dòng)閥有無(wú)開(kāi)啟。

　?、跈z查該閥門(mén)對(duì)應(yīng)的PLC柜中繼有無(wú)問(wèn)題。

　　③檢查該閥門(mén)電磁閥是不是動(dòng)作，首先檢查電磁閥線圈有無(wú)通電;其次檢查電磁閥內(nèi)有雜物阻塞，通常解體清理后可繼續(xù)使用。如氣缸有問(wèn)題，則需更換或由專(zhuān)業(yè)人員維修。

　　④察看現(xiàn)場(chǎng)閥位磁性開(kāi)關(guān)定位器是不是到位，如閥門(mén)動(dòng)作到位，磁性開(kāi)關(guān)沒(méi)有亮燈指示，此時(shí)要調(diào)整磁性開(kāi)關(guān)位置，直到讓其亮燈指示。

　?、葸€有一種可能是閥門(mén)密封面上沾有鐵屑等雜物，致使閥門(mén)無(wú)法全部關(guān)閉，壓縮空氣一直從二位四通閥排氣口沖出。平常這種情況通常會(huì)跟隨雜物脫落而自動(dòng)消逝，否則應(yīng)打開(kāi)就近的檢查門(mén)，清除雜物。

　　案例：三室式RTO蓄熱式焚燒設(shè)備安裝在鄭州化工廠區(qū)

　　6.點(diǎn)火不成功

　　打開(kāi)燃燒操縱柜，按燃燒操縱器復(fù)位鍵，重新點(diǎn)火。如重復(fù)多次，燃燒器仍不可以點(diǎn)火，則按下列途徑查找因素：

　?、俨炜慈紵倏v器各小燈的閉合，根據(jù)其提示，分析*因素。

　　②檢查電機(jī)是不是正常。連桿是不是松動(dòng)。燃?xì)馄胶忾y是不是在適宜位置。

　?、蹤z查點(diǎn)火電磁閥是不是故障。

　?、軝z查點(diǎn)火管路是不是開(kāi)啟，壓力是不是正常(減壓閥后壓力1～2KPa左右)。

　?、葜鳒p壓閥前壓力及減壓閥后壓力是不是正常。若減壓閥后壓力不正常則調(diào)節(jié)減壓閥或更換減壓閥。

　　⑥擦拭點(diǎn)火器及火焰檢測(cè)器頭部后再試。

　?、邫z查高壓點(diǎn)火器是不是打火。

　　⑧火焰檢測(cè)器是不是故障。

　?、釞z查燃燒風(fēng)機(jī)供風(fēng)是不是正常。

　?、饣饳z冷卻風(fēng)是不是過(guò)大，關(guān)小再試;火檢冷卻風(fēng)是不是關(guān)閉，如關(guān)閉，可能造成火檢端部溫度超過(guò)65℃，火檢自動(dòng)愛(ài)護(hù)動(dòng)作造成點(diǎn)火失敗。若以上問(wèn)題都不存在，但還不可以成功點(diǎn)火，則需專(zhuān)業(yè)人員對(duì)燃燒系統(tǒng)重新調(diào)整。

　　7.燃燒器驀地熄火

　　打開(kāi)燃燒操縱柜，按燃燒操縱器復(fù)位鍵，重新啟動(dòng)燃燒器。如重復(fù)多次，燃燒器仍不可以正常運(yùn)動(dòng)，則按下列途徑查找因素：

　?、僦鳒p壓閥前壓力及減壓閥后壓力是不是正常。若減壓閥后壓力不正常則調(diào)節(jié)減壓閥或更換減壓閥。

　?、跈z查電機(jī)是不是正常。連桿是不是松動(dòng)。燃?xì)馄胶忾y是不是在適宜位置。

　?、蹤z查助燃風(fēng)機(jī)壓力開(kāi)關(guān)是不是動(dòng)作。

　　④檢查火檢有無(wú)問(wèn)題。

　?、菅谉岬奶鞖庀拗破饔袩o(wú)動(dòng)作。

　?、藁饳z冷卻風(fēng)是不是過(guò)大，造成小火時(shí)熄滅，關(guān)小點(diǎn)火再試;火檢冷卻風(fēng)是不是關(guān)閉，如關(guān)閉，可能造成火檢端部溫度超過(guò)65℃，火檢自動(dòng)愛(ài)護(hù)動(dòng)作造成點(diǎn)火失敗。若以上問(wèn)題都不存在，但重新點(diǎn)火成功后再次出現(xiàn)熄火現(xiàn)象，則需專(zhuān)業(yè)人員對(duì)燃燒系統(tǒng)重新調(diào)整。

　　8.排氣超溫上限(設(shè)定溫度250℃)此時(shí)RTO報(bào)警并自動(dòng)故障停車(chē)

　　可對(duì)比現(xiàn)場(chǎng)溫度表，首先推斷排氣熱電偶有無(wú)問(wèn)題。如現(xiàn)場(chǎng)溫度表顯示未超溫則更換熱電偶，重新啟動(dòng)RTO。如現(xiàn)場(chǎng)溫度表也顯示超溫，則按如下幾種情況分析因素：

　?、?gòu)U氣入口溫度是不是過(guò)高。RTO正常入口溫度為常溫。

　?、跈z查RTO系統(tǒng)主切換蓋板閥有*。如閥門(mén)有故障，RTO蓄熱體無(wú)法正常蓄熱放熱，也會(huì)造成RTO出口超溫。

　　③檢查蓄熱體是不是完好，如蓄熱體阻塞、碎裂或塌陷則造成換熱效率減少，從而提高排煙溫度。

　?、軝z查是不是全部生產(chǎn)線廢氣閥都關(guān)閉。如長(zhǎng)時(shí)間關(guān)閉，進(jìn)入RTO的廢氣量太小，會(huì)造成RTO出口超溫。

　　9. 氧化室溫度超高報(bào)警(設(shè)定溫度950℃)：此時(shí)RTO自動(dòng)故障停車(chē)

　?、贌犭娕加袩o(wú)問(wèn)題?？筛鶕?jù)兩支熱電偶及對(duì)比燃燒操縱柜顯示的溫度推斷，正常情況下，任意兩者的讀數(shù)誤差≤150℃。

　?、跈z查燃燒系統(tǒng)比例閥動(dòng)作是不是正常。

　　③廢氣濃度過(guò)高，應(yīng)檢查生產(chǎn)工藝。

　　10.氧化室溫度變化異常

　?、贆z查比例閥動(dòng)作是不是正常。

　?、诩词棺钥叵到y(tǒng)可穩(wěn)定爐膛溫度，但廢氣量驀地變化過(guò)大，會(huì)使溫升速度變快或慢，所以要盡可能保持進(jìn)口廢氣量相對(duì)穩(wěn)定。

　　③熱電偶有無(wú)問(wèn)題。

　?、懿倏v柜有無(wú)非常好接地，如無(wú)，則熱電偶可能信號(hào)干擾造成溫度顯示異常。
 

　　有機(jī)廢氣治理
 

　　半導(dǎo)體工藝中的有機(jī)廢氣具有排氣量大，濃度低和成分復(fù)雜的特點(diǎn)。 用其他有機(jī)廢氣處理技術(shù)很難達(dá)到令人滿意的處理效率。 吸附催化燃燒法更合適。 目前，一些大型的半導(dǎo)體公司已經(jīng)采用了沸石流道的催化燃燒技術(shù)。

　　催化燃燒 沸石流道設(shè)備安裝在客戶(hù)的工廠區(qū)域

　　大容量，低濃度的揮發(fā)性有機(jī)廢氣（VOC）由高效過(guò)濾器過(guò)濾，進(jìn)入沸石分子篩，被吸附并

　　電子控制系統(tǒng)控制催化氧化爐開(kāi)始加熱，加熱后的高溫氣體由熱交換器冷卻 然后在混合空氣中調(diào)節(jié)至100-200℃，沸石流道緩慢旋轉(zhuǎn)（3?8r / h），吸附區(qū)的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)至解吸區(qū)的高溫解吸，解吸后的高濃度有機(jī)廢氣 被熱交換器預(yù)熱并進(jìn)入催化氧化 在熔爐中，其被氧化并分解為二氧化碳和水，凈化后的空氣通過(guò)煙囪排出。  。[H]

　　完成解吸的沸石流道旋轉(zhuǎn)到冷卻區(qū)進(jìn)行冷卻，以完成吸附/解吸/冷卻的循環(huán)。

　　該方法適用于大風(fēng)量，低濃度和常溫。 有機(jī)廢氣處理，有機(jī)廢氣處理效率達(dá)95％以上，運(yùn)行成本低，設(shè)備風(fēng)量大，占地面積小，無(wú)二次污染，可持續(xù)脫附和處理污染物