低溫等離子凈化器在廢氣處理工程中的應用較為廣泛，其主要工藝流程主要由氣體收集系統—預處理噴淋洗滌系統—低溫等離子凈化系統—氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體收集系統六大部分組成。
低溫等離子凈化器主要是將構筑物自由揮發的氣體收集起來并輸送到后續處理系統，具體包括氣罩系統、管道輸送系統和風機。
低溫等離子凈化器工作原理：
廢氣處理中洗滌系統用來和廢氣在洗滌塔內進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體達到廢氣凈化處理，具體包括填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統等。
低溫等離子凈化器內部裝有的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的氣體被電場內所產生的臭氧所，并去除了異味，氣體被除掉，達到廢氣處理的目的。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環境污染處理領域中的一項具有強潛在優勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。
