1600℃真空氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF）
產(chǎn)品特點
產(chǎn)品特點
提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應用在半導體、納米技術、等纖維等領域
此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節(jié)能50%以上
自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
啟動電爐，排溫風機同時自動運行，試驗結束后，排溫風機將繼續(xù)運行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風機自行停止，有效保護了爐體表面
爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性
電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性
加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應電對控制信號的干擾
操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀
上下爐體采用航空插頭連接方式，連接安全可靠方便
氣路總成采用食品級316不銹鋼制成，具有耐蝕性，耐大氣腐蝕性和耐高溫強度好，無磁性
采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復性好，相應速度快，穩(wěn)定可靠等特點。（氣體質量流量控制系統(tǒng)）
自動控制與手動控制切換功能，自動控制模式能通過設定值自動開啟/關閉真空泵，使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。（中真空控制系統(tǒng)）
電磁閥緩啟動技術，使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開，使爐管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準確，也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果（中真空控制系統(tǒng)）
安全性
過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。
采用單向閥技術，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。
采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導入工作室內(nèi)，確保不會泄露。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù)
| 溫區(qū) | 單溫區(qū) | 雙溫區(qū) | ||||||
| 型號 | CVD-TF16P50 | CVD-TF16P60 | CVD-TF16P80 | CVD-TF16P100 | CVD-TF16P60S | CVD-TF16P80S | CVD-TF16P100S | |
| CVD-TF16T50 | CVD-TF16T60 | CVD-TF16T80 | CVD-TF16T100 | CVD-TF16P60S | CVD-TF16T80S | CVD-TF16T100S | ||
| 性能 | 使用溫度范圍 | 300~1600℃ | ||||||
| 溫度分辨率 | 1℃ | |||||||
| 控溫精度 | ±1℃ | |||||||
| 升溫速率 | 0~20℃/min | |||||||
| 加熱區(qū)長度 | 260mm | 600mm | ||||||
| 恒溫區(qū)長度 | 120mm | 300mm | ||||||
| 真空度 | -0.1MPa | |||||||
| 空爐升溫時間 | ＜15min | |||||||
| 構成 | 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 | ||||||
| 爐膛體 | 多晶莫來石纖維 | |||||||
| 爐膛尺寸 | 440*390*330 | 780*390*330 | ||||||
| 爐管 | 剛玉管 | |||||||
| 爐管尺寸 | φ50*1000 | φ60*1000 | φ80*1000 | φ100*1000 | φ60*1200 | φ80*1200 | φ100*1200 | |
| 加熱器 | 硅鉬棒 | |||||||
| 加熱功率 | 4KW | 4KW | 10KW | 10KW | ||||
| 斷熱層 | 雙層強制風導流 | |||||||
| 控制器 | 控制器 | P：進口程序控溫數(shù)碼顯示； T：7寸彩色觸摸屏程序控溫 | ||||||
| 控制方式 | 使用微型電腦PID控制/ S型雙溫區(qū)單獨控溫 | |||||||
| 設定方式 | P：輕觸五按鍵動作、數(shù)顯設定；T：手指觸摸輕點設定 | |||||||
| 顯示方式 | P：雙行LED數(shù)字顯示； T：彩色液晶屏顯示 | |||||||
| 定時 | 0~999.9小時 | |||||||
| 運行功能 | 定值運行、程序運行 | |||||||
| 程序模式 | P：程序運行、4條曲線、共40步；T：50步可調(diào)用儲存程序 | |||||||
| 傳感器 | S型熱電偶 | |||||||
| 附屬功能 | P：校正功能；T：校正功能、實時曲線記錄、U盤數(shù)據(jù)導出 | |||||||
| 安全裝置 | 過流漏電保護開關 | 過流保護開關 | ||||||
| 質量流量控制系統(tǒng) | 氣路數(shù)量 | 3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量） | ||||||
| 流量范圍 | 0-0500sccm（標準毫升/分，可選配）氮氣標準 | |||||||
| 精度 | ±1%F.S | |||||||
| 響應時間 | ≤4s | |||||||
| 工作溫度（流量計） | 5-45℃ | |||||||
| 工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力） | |||||||
| 系統(tǒng)連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀 | |||||||
| 中真空 | 系統(tǒng)真空范圍 | 10-100Pa | ||||||
| 控制系統(tǒng) | 真空泵 | 雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/s，出氣口配有油污過濾器，額定電壓200V，功率0.55Kw | ||||||
| CVD系統(tǒng)配置 | 1600度真空管式爐（可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)）多路質量流量控制系統(tǒng)真空系統(tǒng) | |||||||
