1400℃真空氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF）
產(chǎn)品特點(diǎn)
產(chǎn)品特點(diǎn)
提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境
此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品性能
1、爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成，溫場(chǎng)均勻節(jié)能50%以上
2、空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
3、啟動(dòng)電爐，排溫風(fēng)機(jī)同時(shí)自動(dòng)運(yùn)行，試驗(yàn)結(jié)束后，排溫風(fēng)機(jī)將繼續(xù)運(yùn)行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風(fēng)機(jī)自行停止，有效保護(hù)了爐體表面
4、自動(dòng)斷電、超溫保護(hù)功能、漏電保護(hù)功能，以確保使用的安全性
5、電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強(qiáng)弱電單獨(dú)走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性
6、加熱模塊采用直流信號(hào)調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對(duì)控制信號(hào)的干擾
7、自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度或老化對(duì)硅碳棒阻值變化帶來(lái)的控溫影響，避免人為調(diào)節(jié)的不準(zhǔn)確性和危險(xiǎn)性
8、采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，相應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。（氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)）
9、自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能，自動(dòng)控制模式能通過(guò)設(shè)定值自動(dòng)開(kāi)啟關(guān)閉真空泵，使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動(dòng)控制模式使用用戶通過(guò)真空泵開(kāi)啟關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實(shí)驗(yàn)的需要。（中真空控制系統(tǒng)）
10電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù)，使電磁閥在真空泵開(kāi)啟10秒鐘后打開(kāi)，使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確，也保證了廢氣不會(huì)返回到爐管系統(tǒng)影響實(shí)驗(yàn)效果（中真空控制系統(tǒng)）
安全性
1、過(guò)升報(bào)警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復(fù)電延時(shí)。
2、采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。
3、采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會(huì)泄露。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | 單溫區(qū) | CVD-TF14P40 | CVD-TF14P50 | CVD-TF14P60 | CVD-TF14P80 | ||||||||
| 單溫區(qū) | CVD-TF14T40 | CVD-TF14T50 | CVD-TF14T60 | CVD-TF14T80 | |||||||||
| 性能 | 使用溫度范圍 | 300~1400℃ | |||||||||||
| 溫度分辨率 | 1℃ | ||||||||||||
| 控溫精度 | ± 1℃ | ||||||||||||
| 升溫速率 | 0~20℃/min | ||||||||||||
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | 400mm | |||||||||||
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 70mm | 140mm | |||||||||||
| 真空度 | -0.1MPa | ||||||||||||
| 空爐升溫時(shí)間 | ≤15min | ||||||||||||
| 配置爐管時(shí)升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min；500-1000≤10℃/min；1000-1200≤5℃/min；1000-1400≤2℃/min | ||||||||||||
| 構(gòu)成 | 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 | |||||||||||
| 爐膛體 | 多晶莫來(lái)石纖維 | ||||||||||||
| 爐膛尺寸 | 360*350*350mm | 560*350*350mm | |||||||||||
| 爐管 | 剛玉管 | ||||||||||||
| 爐管尺寸 | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 | |||||||||
| 加熱器 | 硅碳棒 | ||||||||||||
| 加熱功率 | 3KW | 5KW | |||||||||||
| 斷熱層 | 雙層強(qiáng)制風(fēng)導(dǎo)流 | ||||||||||||
| 打開(kāi)方式 | 無(wú) | ||||||||||||
| 控制 器 | 控制器 | P：進(jìn)口程序控溫?cái)?shù)碼顯示； T：7寸彩色觸摸屏程序控溫 | |||||||||||
| 控制方式 | 使用微型電腦PID控制 | ||||||||||||
| 設(shè)定方式 | P：輕觸五按鍵動(dòng)作、數(shù)顯設(shè)定； T：手指觸摸輕點(diǎn)設(shè)定 | ||||||||||||
| 顯示方式 | P：雙行LED數(shù)字顯示； T：彩色液晶屏顯示 | ||||||||||||
| 定時(shí) | 0~999.9小時(shí) | ||||||||||||
| 運(yùn)行功能 | 定值運(yùn)行、程序運(yùn)行 | ||||||||||||
| 程序模式 | P：程序運(yùn)行、4條曲線、共40步； T：50步 可調(diào)用儲(chǔ)存程序 | ||||||||||||
| 傳感器 | S型熱電偶 | ||||||||||||
| 附屬功能 | P：校正功能； T：校正功能、實(shí)時(shí)曲線記錄、U盤(pán)數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | ||||||||||||
| 安全裝置 | 過(guò)流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān) | ||||||||||||
| 質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 氣路數(shù)量 | 3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量） | |||||||||||
| 流量范圍 | 0-0500sccm（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn) | ||||||||||||
| 精度 | ±1%F.S | ||||||||||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤4s | ||||||||||||
| 工作溫度（流量計(jì)） | 5-45℃ | ||||||||||||
| 工作壓力 | 進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力） | ||||||||||||
| 系統(tǒng)連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x | ||||||||||||
| 中真空控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)真空范圍 | 10-100Pa | |||||||||||
| 真空泵 | 雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/s，出氣口配有油污過(guò)濾器，額定電壓200V，功率0.55Kw | ||||||||||||
| CVD系統(tǒng)配置 | 1400度真空管式爐多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)真空系統(tǒng) | ||||||||||||
