產(chǎn)品型號: | PDC-32G微型臺式等離子清潔儀(帶真空泵)EQ-PDC-32G微型臺式等離子清潔儀 |
產(chǎn)品簡介: | EQ-PDC-32G是微型臺式等離子清潔儀,這款離子清潔儀可利用空氣、氧氣或氬等離子來**玻璃、半導(dǎo)體、高分子材料、金屬基座的表面納米有機污染物,在高射頻(RF)功率的情況下的*大有機物去除率約為10nm/min 。對材料進行涂覆鍍膜前,使用本等離子清潔儀對單晶基片進行清潔能獲取更好的效果。 |
主要特點: | 外型美觀精巧 可調(diào)節(jié)射頻功率(高、中、低) 操作安全,成本低廉,對人類和環(huán)境無害 |
技術(shù)參數(shù): | 輸入電源:115V AC ,50/60 Hz;或 230V AC, 50/60 Hz, ﹤ 200W 輸出頻率:13.56 MHz 等離子發(fā)射頻率:三種可調(diào)輸出電壓: 低 680V DC 10mA DC 6.8W 中 700V DC 15mA DC 10.5W 高 720V DC 25mA DC 18 W 等離子艙體:76mm(直徑)x 165mm(長) 硼硅酸玻璃艙體可拆卸式前蓋 真空泵與控制閥門:雙極旋片真空泵 (110V, 226 L/m) 帶過濾器和KF-D25閘口----配有KFD25接頭, 600mm長不銹鋼管與高質(zhì)量的過濾器 *大終端壓力為30 mTorr或更小 1/8" NPT 針型閥門有效控制氣體的流動和艙體內(nèi)的壓力 1/8" NPT 三通閥門以便放散氣體, 艙體隔離及泄氣狀態(tài)的轉(zhuǎn)換 惰性氣體:根據(jù)所需清洗的污染物可選擇采用N2, Ar, Air 和混合氣體 注意不能使用可燃性氣體 保修期:一年 (不含硼硅酸玻璃艙體) |
產(chǎn)品規(guī)格: | 規(guī)格:216mm(H) x 254mm(W) x 203mm(D) 凈重:6.5 kg (不帶真空泵)14.0 kg(帶真空泵) |
標準配件: | |
可選配件: | 若使用2"晶體石英舟,這種清潔儀能一次處理25個直徑2"的晶體; 數(shù)碼真空計量器,用于**調(diào)控艙體壓力 |
廈門邁凱倫精瑞科儀有限公司座落于廈門海滄投資開發(fā)區(qū),是集開發(fā)、銷售、安裝、調(diào)試、培訓(xùn)為一體的*型企業(yè)。公司始終奉行“誠實守信,穩(wěn)健中求發(fā)展”的企業(yè)精神,服務(wù)于環(huán)保、衛(wèi)生、質(zhì)檢、藥檢、石化、高校、制造業(yè)研發(fā)實驗室、認證機構(gòu)等各個行業(yè)。為科學(xué)研究、檢測分析、生產(chǎn)制備提供有效的解決方案! 除本公司產(chǎn)品外,同時配套代理進口儀器設(shè)備、耗材、國外高科技的電子、電力測試儀器儀表。產(chǎn)品涵蓋了電子、電力測試、輸配電設(shè)備在線監(jiān)測、油類/液體過濾設(shè)備、電源保護、計算機網(wǎng)絡(luò)遙控管理等不同領(lǐng)域,應(yīng)用于電力、運輸、科研、生產(chǎn)、環(huán)保和石油化工行業(yè)。 代理品牌有美國GE能源公司--變壓器/開關(guān)早期故障氣體,水分及運行狀態(tài)在線監(jiān)測系統(tǒng);美國富爾康(Velcon)公司--油類/液體/氣體過濾的各個系列過濾設(shè)備,各種用途的高素質(zhì)慮芯;德國JULABO溫度控制產(chǎn)品,德國粘度測量儀器產(chǎn)品。科研配套耗材有:有美國SIGMA公司,美國ALFA公司,德國APPLICHEM公司等進口實驗用品。為用戶提供相應(yīng)技術(shù)支持及售后服務(wù)。我公司以上等、誠信的經(jīng)營理念歡迎中外客商、新老朋友咨詢、洽談、合作!
可視氮吹儀
EQ-PDC-32G微型臺式等離子清潔儀 產(chǎn)品信息