產(chǎn)品介紹
YAMATO等離子灰化機，PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制（PR500/510）
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途：
- 去除光刻膠
- 部品清洗
- 界面活性處理
- 微研磨
- 硅晶圓，玻璃基板對應
特征：
- 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
- 小型一體化設計
操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
技術參數(shù)：
型號 | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式，桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) | ||
反應部 | 反應腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反應氣體 | 2系統(tǒng)（O2／CF4） | ||
控制 | 手動 | 觸摸屏自動控制 | |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
PR200/300/301，從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺式等離子清洗機。
用途：
- YAMATO等離子灰化機高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）。同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH 2等官能基。
- 硅晶圓蝕刻。
- 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
- 石棉預處理（膜過濾灰化）。
- 從電子設備到生化市場。
- 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
- 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
- 表面有機物去除。
特點：
- RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
- 由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝。
- 同步，自動調(diào)諧，操作簡單（PR200）。
- 等離子體反應器（灰化設備）（PR200）。
- 同步、自動調(diào)諧（PR200）。
技術參數(shù)：
型號 | PR200 | PR300 | PR301 | |
模式 | DP模式，桶型 | |||
控制部 | 高頻輸出 | Max300W | ||
頻率 | 13.56MHz | |||
同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式 | |||
反應部 | 反應腔 | 耐熱玻璃 Φ100×160mm | 超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐熱玻璃 Φ118×160mm |
反應氣體 | 1系統(tǒng)（氧氣）流量計 | |||
控制 | 手動密閉閥 | 自動減壓、自動密閉閥 | ||
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W350×D400×H500mm | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
重量 | 約10kg | 約36kg | 約34kg | |
電源 | AC100V 15A | AC100V 7A | ||
