超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

超純水系統設備的脫鹽核心部件為進口反滲透膜組件，超純水系統設備通常由預處理部分，反滲透主機部分，后處理部分共同組成。

1、預處理：由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全自動軟水器、精密過濾器組成(我晨興公司采用全自動控制閥頭)，也可選用超濾系統作為預處理，但通常工程造價要高。預處理主要目的是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質、懸浮物、色度、異味、生化有機物。當原水中硬度較高時，可選擇全自動軟水器，這樣有效的保護了反滲透膜，從而延長了反滲透膜的使用壽命。

2、反滲透主機：主要由高壓泵、膜殼、進口反滲透膜組件，在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數量及泵的型號選型得當，反滲透主機脫鹽率及產水量都能達到額定指標，出水電導率可保證在≤10us. CM以下，(原水電導率小于500us/cm,工作溫度：1～40℃)

3、后處理部分：是對反滲透制取的純水作進一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設備或EDI設備，根據客戶要求，出水阻率可達到18.2MΩ.CM，如果是應用在直飲水工藝上，則加上殺菌裝置即可，通常為紫外線殺菌器或者臭氧發生器，從而使生產出來的水達到直飲標準。

超純水設備工作原理

1. 水進入純化系統，主要部分流入樹脂 / 膜內部，而另一部分沿模板外側流動，以洗去透出膜外的離子。
2. 樹脂截留水中的溶存離子。
3. 被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運動，陽離子向負極方向運動。
4. 陽離子透過陽離子膜，排出樹脂 / 膜之外。
5. 陰離子透過陰離子膜，排出樹脂 / 膜之外。
6. 濃縮了的離子從廢水流路中排出。
7. 去離子水從樹脂 / 膜內流出。

超純水設備主要用途

1、超純材料和超純試劑的生產和清洗。
2、電子產品的生產和清洗。
3、電池產品的生產。
4、半導體產品的生產和清洗。
5、電路板的生產和清洗。

超純水設備水質標準

出水水質：電阻率>15MΩ.cm
行業標準：超純水水質分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。