技術應用鏈接:
Tetra 800 LF-PC | 特殊設備
開關柜:寬 600 mm、高 1800 mm、深 800 mm
腔室:寬 1250 mm、高 550 mm、深 1120 mm
腔室容積:約 800 升
氣體供給:通過 MFC 控制的 3 個氣體通道
發生器:1 個 (40 kHz)
控制系統:配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)
關鍵詞:
Diener
等離子表面處儀
Tetra800
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