技術應用鏈接:
Tetra 2800 LF-PC | 特殊設備
開關柜:寬 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
腔室:∅ 1200 mm,深 2500 mm
腔室容積:約 2800 升
氣體供給:通過 MFC 控制的 3 個氣體通道
發生器:1 個 (40 kHz)(可選:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系統:配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
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